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洁净室(英文名:Cleanroom)是指一个具有极低水平环境污染物的受控环境。
概述
洁净室通过使用高效空气过滤器(HEPA)来控制空气中的微粒。人员进入洁净室通常需要穿戴洁净服以减少污染。
洁净度标准
目前国际上通用的标准是 ISO 14644。
ISO 14644-1 标准表
| 等级 |
0.1μm |
0.5μm |
5.0μm
|
| ISO 5 |
100,000 |
3,520 |
29
|
| ISO 7 |
不计 |
352,000 |
2,930
|
参考文献